MEMS傳感器的靜止帶寬測試

來源：賽斯維傳感器網(wǎng) 發(fā)表于 2012/12/10

　　對于采用MEMS加速度計和陀螺儀的工業(yè)系統(tǒng)而言，優(yōu)化帶寬可能是關鍵考慮因素。這代表著精度(噪聲)與響應時間之間的一種經(jīng)典權衡。雖然多數(shù)MEMS傳感器制造商都會給出典型帶寬指標，往往還需要驗證傳感器或整個系統(tǒng)的實際帶寬。在確定加速度計和陀螺儀的帶寬特性時，一般需要使用振動臺或其他機械激勵源。要精確確定特性，需要全面了解應用于受測器件(DUT)的運動。在此過程中需要管理多種潛在誤差源。在機械帶寬測定中，一個常見的誤差源是諧振。導致機械諧振的原因有多種，包括激勵源維護不當、DUT與激勵源耦合不良以及基準傳感器放置等。這些誤差的隔離十分耗時，可能給至關重要的項目進度帶來風險。

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