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激光位移傳感器在精密測厚時需要注意哪些
來源:賽斯維傳感器網(wǎng) 發(fā)表于 2011/6/21

  和其它傳感器測厚一樣,要實現(xiàn)精密測厚需要注意以下條件,否則再好的傳感器也測不準(zhǔn):

  1、用單激光位移傳感器測厚

  被測體放在測量平臺上,測量出傳感器到平臺表面距離,然后再測出傳感器到被測體表面間距,經(jīng)計算后測出厚度。要求被測體與測量平臺之間無氣隙,被測體無翹起。這些嚴(yán)格要求只有在離線情況實現(xiàn)。

  2、 雙激光傳感器測厚

  在被測體上方和下方各安裝一個激光位移傳感器,被測體厚度D=C-(A+B)。其中,C是兩個傳感器之間距離,A是上面?zhèn)鞲衅鞯奖粶y體之間距離,B是下面?zhèn)鞲衅鞯奖粶y體之間距離。圖中:SMR是指傳感器量程起始間距,MR是指傳感器量程。

  在線厚度測量用這種方法優(yōu)點是可消除被測體振動對測量結(jié)果的影響。但同時對傳感器安裝和性能有要求。

  保證測量準(zhǔn)確性的條件是:兩個傳感器發(fā)射光束必須同軸,以及兩個傳感器掃描必須同步(見本文附圖)。同軸是靠安裝實現(xiàn),而同步要靠選擇有同步端激光傳感器。如真尚有ZLDS10X系列激光位移傳感器都有同步端。

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